2023年11月4日  中材高新的氮化硅产品主要有两个，一个是HIP氮化硅陶瓷球，另一个是高导热氮化硅基板。2020年，公司首条年产100吨高性能氮化硅陶瓷制品生产

从国内外氮化硅粉体的指标测试和试烧结果看来， 国内最具代表性企业 生产的 Si3N4 平均颗粒在 3 微米左右， 金属杂质含量较高， 难以达到合格产品要 求， 而进口的粉体为 07

氮化硅的生产通常采用氮气和硅粉为原料，在高温条件下进行反应制备。 具体工艺流程如下： 1 原料准备：硅粉和氮气是氮化硅生产的主要原料，硅粉要求纯度高，颗粒度均匀。

氮化硅是一种无机物，化学式为Si3N4。 它是一种重要的 结构陶瓷 材料，硬度大，本身具有润滑性，并且 耐磨 损，为 原子晶体 ；高温时抗氧化。 而且它还能抵抗 冷热冲击 ，在空气中加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧

2022年10月28日  本发明提出一种氮化硅生产工艺及设备,包括以下步骤:原料准备,造粒排气,开炉排气,闭炉充气,炉体加温,研磨氮化硅粒在实际实施过程中,该工艺通过造粒排气,开

2023年2月1日  3现有氮化硅的工业生产过程中，可将单质粉末置入氮化设备内，通过对单质硅的粉末进行渗氮处理的合成方法获得氮化硅粉末；然而采用该方式制造氮化硅，易于

精密陶瓷（先进陶瓷） 按照材料选择 氮化硅 按材料 公司介绍 氮化硅 氮化硅是发动机零部件的理想材料，因为其具有高温韧性、优越的耐热冲击性、轻质和耐腐蚀性。 氮化硅信

2023年12月12日  经过持续的技术优化，2023年中科重仪在苏州吴江区建立了国内首条采用国产化MOCVD设备生产的8英寸硅基氮化镓外延产线，单条产线年产能达5000片。投入运营后，将实现氮化镓材料综合生产成本降低50% 以上，为市场提供性价比更高的氮化镓外延片

2021年7月9日  6月 22, 2021 最近几年，氮化镓、碳化硅等第三代半导体材料在我国得到了大力发展，要使用第三代半导体材料生产出大功率半导体器件，如果没有功率集成电路陶瓷基板，半导体器件的散热效果将会大大降低、降低该器件的使用效果。 图源自网络 由于陶瓷基

2022年6月25日  现在国内还没有企业真正完成氮化硅基板产业化，各高校、研究院所和企业都处于小批量研制阶段。 中材高新氮化物陶瓷有限公司在“十三五”国家重点研发计划支持下，系统研究并突破了高导热Si 3 N 4 基板

2023年7月18日  中国粉体网讯 7月13日，日本UBE株式会社决定扩建宇部化工厂的氮化硅生产设备，以应对以电动汽车（xEV）轴承和基板为主的需求快速增长。 计划2025年度下半年投产，产能约为目前水平的15倍。氮化硅制品，来源：UBE 在航空、航天、航海、核

2022年12月19日  公司在生产线上配备了全新的8英寸制造设备，并开发出一个与硅兼容的工艺流程（如无金工艺、平整工艺、蚀刻工艺等）。 虽然在工艺开发过程中遇到很多技术难题，但公司研发团队都逐一克服，而且还优化了工艺技术，扩大了工艺窗口等，以此来获得可大规模量产的工艺及更高晶圆的利用率。

2023年12月7日  经过持续的技术优化，2023年中科重仪在苏州吴江区建立了国内首条采用国产化MOCVD设备生产的8英寸硅基氮化镓外延产线，单条产线年产能达5000片。投入运营后，将实现氮化镓材料综合生产成本降低50% 以上，为市场提供性价比更高的氮化镓外延片

2023年11月4日  公司依靠自主设计的第三代产业化设备4000升氮化硅 反应釜，氮化硅粉体年产量可达到600吨。埃克诺新材料（大连）有限公司成立于2013年，公司拥有从氮化硅粉体到氮化硅制成品的全产业链条和自主研发技术，主要产品涵盖氮化硅粉体、氮化硅

2024年1月3日  一种氮化硅吸波材料的生产工艺及设备pdf 上传 暂无简介 文档格式：pdf 文档大小： 102M 文档页数： 21 页 顶 /踩数： 0 / 0 收藏人数： 0 评论次数： 0 文档热度： 文档分类： 行业资料

2017年2月9日  I研究和降低垂直型DLPCVD制备氮化硅膜的微粒影响摘要垂直型炉管机台LPCVD由于其良好的均匀度和批量生产的优势使得其从0世纪90年代开始，一直是集成电路制造领域必备的设备之一。普遍应用于制备二氧化硅、多晶硅、氮化硅等工艺领域。在生产过程中，最主要的三个指标是：膜厚、均匀度、杂质

本发明涉及一种氮化硅生产设备，特别是涉及一种高纯度氮化硅粉体生产工艺。背景技术：氮化硅具有良好的抗热冲击性、抗氧化性、耐高温、耐腐蚀、化学稳定性高、强度高等一系列优异的热物理性能，是一种优良的高温结构材料。氮化硅反应炉是在通入氮气、氩气、氢气的状态下把硅石烧制成

2024年1月19日  耐高温性能：氮化硅具有优异的耐高温性能，使得氮化硅升液管可以在高温环境下稳定工作，大大提高了生产效率。 2 耐腐蚀性能：氮化硅具有良好的化学稳定性，对于各种酸、碱等腐蚀性液体具有较强的抗腐蚀能力，降低了设备维护成本。

2022年10月21日  随着晶圆尺寸不断增大，早期的水平式炉管已无法满足薄膜淀积均匀度的要求，现在市面上的LPCVD氮化硅生产的主力设备是垂直式炉管。 本研究以TEL公司的Alpha8SE系列爐管机台为研究对象，分析其基本构造、性能和技术参数对颗粒污染的影响。

根据对问题的分析结果,本文最后创新地提出了idle purge的解决方案,利用氮气在工艺腔体空闲时的吹拂可以有效的去除颗粒污染的效果,Idle purge方案成功解决了LPCVD氮化硅炉管生产工艺中的颗粒污染问题。 不仅延长了机台的维护周期,而且改善了机台的颗粒污染状况

艾森达氮化硅基板近况 发布时间： 为满足客户需求，艾森达已经开始实施氮化硅陶瓷基板扩产方案，继续采购国际知名制程设备用以保证产品质量和稳定性，同时提高生产自动化能力以及各种可靠性测试能力，形成氮化硅10万片的自动化的生产线

2017年4月24日  氮化硅的生产设备 机械稳定性：油脂在机械加工时会变软，导致泄露。据了解，破碎机以其*****的原料破碎性能被广泛应用于水泥、砂石、采矿、能源等各个行业的***初生产作业中。冲击式破碎机的性能参数发布日期：一、叶轮转速叶轮

氮化硅是一种无机物，化学式为Si3N4。它是一种重要的结构陶瓷材料，硬度大，本身具有润滑性，并且耐磨损，为原子晶体；高温时抗氧化。而且它还能抵抗冷热冲击，在空气中加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。正是由于氮化硅陶瓷具有如此优异的特性，人们常常利用它来制造

2022年8月1日  用氮化硅陶瓷材料，迎接3D打印高端应用的“蓝海” 氮化硅（Si3N4）是硅和氮的无机非金属化合物，在一百五十多年前被国外科学家成功研制，20世纪50年代开始应用，作为工程材料，到60年代受到重视。 氮化硅作为一种重要的结构陶瓷材料，具有同其他金

2024年2月20日  宇部化工（UBE）独树一帜的液氨（硅胺热解）法 氮化硅 粉体自从上世纪80年代上市以来，被广泛领域认可，并被全球陶瓷生产商认可是品质最高。 本文将就起生产制备以及产品规格简要汇总，以供相关从业者了解学习。 1、生产工艺 宇部化工的生产流程

2024年随着碳化硅加速从6英寸迈向8英寸，需求端新能源车+光伏上量与供给端良率突破或将迎来共振，SiC 有望迎接大规模放量，带动氮化硅陶瓷基板的快速发展。 氮化硅陶瓷基板被公认为是综合性能最佳的散热基板，但在实际生产中需要解决两个棘手的难题

2024年4月19日  发布于：山西省 本文从光伏电池生产的核心环节（清洗制绒、扩散制结、沉积镀膜、金属化）入手，厘清各环节的制作原理及主流工艺设备。 （一）核心工艺与技术路线差异 1、清洗制绒 清洗制绒是所有电池制备路线中的第一道工序：清洗是指以碱液去除

2021年10月23日  一文了解氮化铝陶瓷成型工艺、设备及厂家 [导读] 成型是为了得到内部均匀和密度高的陶瓷坯体，是氮化铝陶瓷制备工艺中的重要环节，因为结构陶瓷的成型技术在很大程度上决定了坯体的均匀性和制备

2023年8月29日  国内最早的氮化硅材料研发单位之一 中材高新氮化物陶瓷有限公司隶属于中国建材集团，是一家国家级高新技术企业，国家级“专精特新”小巨人企业，省级瞪羚企业。 公司自1978年开始从事氮化硅陶瓷的研究，是国内最早的氮化硅材料研发单位之一，申请

2011年6月24日  氮化硅陶瓷刀具(Si3N4)前言随着新技术革命的发展要求不断提高 因而可免除退火加工所消耗的电力；并因此也可提高工件的硬度，加长机器设备的使用寿命； 2、不仅能对 氮化硅陶瓷刀具是近年来才在生产中推广使用的一种新型刀具。

2018年12月7日  中国建材集团党委书记、董事长宋志平，副董事长李新华，中材高新材料股份有限公司（以下简称中材高新）董事长刘燕、党委书记阎法强、总裁张伟儒等人共同见证了这一历史时刻。 奠基仪式现场 这条氮化硅陶瓷生产线由中国建材集团所属中材高新自主研发

2021年1月7日  随着对氮化硅陶瓷研究的不断深入，其热学性能、介电性能有了极大的改善，使之可应用在电子器件等领域。总结了制备氮化硅陶瓷材料所使用的烧结助剂，包括氧化物烧结助剂、非氧化物烧结助剂和其他烧结助剂；比较了氮化硅陶瓷材料的烧结方式，包括热压烧结、气压烧结、放电等离子烧结、无

1 天前  新增1条AMB陶瓷基板生产线及氮化硅基板生产线，开展AMB陶瓷基板及氮化硅基本的实验及批量化生产 主要生产设备 及配件：清洗设备、抛光设备、激光设备、丝网印刷机、网版、干燥设备、烧结炉、显影设备、去膜设备、蚀刻

2024年1月22日  氮化硅陶瓷衬板的应用显著提高了设备的性能和可靠性，同时降低了运营成本。 结论： 综上所述，氮化硅陶瓷衬板以其优异的耐磨损性能和高性价比在工业领域占据了重要地位。 它的应用不仅提高了设备的耐用性和效率，还为企业节省了大量的维护和运营

2023年7月19日  宇部化工是全球最大的液相法氮化硅生产企业 宇部化工的液相法氮化硅特点是晶粒尺寸均匀，杂质少，组织细小可控，烧结体性能高。 自1986年推出以来，这一优越性已得到认可，并被应用于汽车工业、飞机、电子工业、机床等广泛领域的各种零件，受到高度

2019年7月31日  研究了PECVD氮化硅薄膜折射率、致密性、表面形貌等性质，制备出了致密的 氮化硅薄膜。研究结果表明，PECVD氮化硅具有厚度偏差小、折射率稳定等特点，为其在光 学等领域的应用打下了基础。关键词：半导体材料；氮化硅薄膜；等离子增强化学气相

2024年5月5日  随着科技的发展与创新，传统机械部件正逐渐被新型材料所替代，其中，氮化硅（Si3N4）陶瓷球在诸多领域内的应用展现出巨大的潜力，并预示着它将成为未来机械设备中的首选配件。氮化硅陶瓷球氮化硅是一种高性能结构陶瓷材料，在高温下具有极高的稳定性和强度，同时其出色的抗腐蚀性及生物

中国粉体网讯 10月16日，据艾森达发布消息，为满足客户需求，艾森达已经开始实施氮化硅陶瓷基板扩产方案，继续采购国际知名制程设备用以保证产品质量和稳定性，同时提高生产自动化能力以及各种可靠性测试能力，形成氮化硅10万片的自动化的生产线，预计2024年上半年达成，为下游客户的快速

2023年12月12日  由于氮化硅陶瓷的硬度非常高，因此其精加工成本也相对较高。在加工过程中，需要使用金刚石磨料进行研磨和切割等操作，以确保获得精确的形状和尺寸。如果需要加工特殊形状的氮化硅陶瓷，则需要使用专用设备和更复杂的工艺流程，这也会增加生产成本。

2023年12月20日  一种氮化硅生产工艺及设备pdf,本发明提出一种氮化硅生产工艺及设备，包括以下步骤：原料准备、造粒排气、开炉排气、闭炉充气、炉体加温、研磨氮化硅粒。在实际实施过程中，该工艺通过造粒排气，开炉排气，以及除氧装置，去除各部分进入炉体内的氧气，使得炉体内氧气降低，提高氮化硅的

2022年12月13日  αSi 3 N 4 使用Si粉的直接氮化而制备的，氧含量较高，其制备的氮化硅陶瓷热导率较低，尽管可以采用SiCl 4 与NH 3 液相反应生成的高纯度、低含氧量的αSi 3 N 4 粉制备氮化硅陶瓷，但是使用高纯度原料会导致成本增加，不利于大规模生产。

2020年6月3日  高纯氮化硅粉在1700 C下热压液基本不发生收缩。氮化硅的烧结方 法主要有三种：反应烧结法，常规烧结法和热压烧结法。 最后和大家分享下氮化硅陶瓷的应用 氮化硅陶瓷的应用初期主要用在机械、冶金、化工、航空、半导体等工业上，作某些设备或产品

活性金属钎焊 (AMB) 是一种用于将陶瓷（包括氮化硅）与金属连接的工艺。 AMB 工艺涉及使用含有活性金属的钎焊填充材料。 活性金属在高温下与陶瓷表面发生反应，形成增强润湿和粘附力的界面层。 钎焊填充材料的选择基于其与接头陶瓷和金属部件的兼容性。 以下是用于连接氮化硅陶瓷基板的活性

2024年2月21日  氮化硅陶瓷球作为一种新型材料，因其优异的性能而在电子设备领域得到了广泛的应用。 氮化硅陶瓷球是一种高纯度、高密度的陶瓷材料，具有优异的耐高温、耐腐蚀、耐磨损、绝缘等性能。 其硬度仅次于金刚石，且具有较低的热膨胀系数，能够适应各种恶

2024年1月4日  据统计，使用氮化硅球的半导体设备，其数据传输速度比传统设备快50%以上。 正是因为这些优异的性能，氮化硅球正在成为半导体行业的新宠。 据市场研究机构预测，到2025年，全球氮化硅球市场规模将达到10亿美元，复合年增长率超过20%。

2016年10月13日  1、硅粉直接氮化法 该方法采用化学纯的硅粉（分析纯：95%以上）在NH3，N2+H2或N2气氛中直接与氮反应实现，其反应方程式如下： 硅粉直接氮化合成Si3N4微细粉的优点是工艺流程简单，成本低。 缺点是该方法反应慢。 需较高的反应温度和较长的反应时间，制备