2024年1月2日  性质 四氟甲烷是无色、不可燃气体。 常温下为压缩气体。 是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，CF4不与Cu、Ni、W、Mo反应，仅在碳弧温度下缓慢分解。

四氟化碳（CF4）是目前微电子工业中用量最大的等离子体蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产

四氟甲烷，也称为四氟化碳或R14，是最简单的全氟化碳( C F 4 )。 正如 IUPAC 名称所示，四氟甲烷是烃类甲烷的全氟化对应物。 它也可以归类为卤代烷或卤代甲烷。

2024年1月3日  1由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳

四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。 空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。 但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。

四氟化碳，又称为四氟甲烷、Freon14及R 14，是一种卤代烃（化学式：CF4）。 它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。

四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与

四氟化碳，又名四氟甲烷，化學式為CF 4，它既可以被視為一種鹵代烴（有機物），也可以被視為一種無機化合物，常温常壓下為無色氣體，不溶於水，溶於苯和氯仿，主要用於各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激

1由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反

化学方程式可以表示为： S源自文库O2 + 2CF4 → SiF4 + 2CO2。 这个化学方程式代表了SiO2与CF4反应的化学过程。 在这个反应中，硅氧化物和四氟化碳会发生化学变化，生成了四氟化硅和二氧化碳。 这个反应是一个重要的工业化学反应，因为它可以用于清洗和刻蚀

2024年1月3日  1由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。

四氟化碳，又名四氟甲烷，化學式為CF4，它既可以被視為一種鹵代烴（有機物），也可以被視為一種無機化合物，常温常壓下為無色氣體，不溶於水，溶於苯和氯仿，主要用於各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激

四氟化碳（CF4）是目前微电子工业中用量最大的等离子体蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也

2022年9月7日  四氟化碳（CF4）是实现刻蚀功能的一种无色无味的气体，无毒、不燃。四氟化碳（CF4）在电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体，能够对各种有机表面实现刻蚀达到去除损伤层的目的。在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛

四氟化碳 是无毒的气体，吸入四氟化碳的后果与浓度有关，包括头痛、恶心、头昏眼花及心血管系统的破坏（主要是心脏）。 长时间接触会导致严重的心脏破坏。 谱源气体专业供应四氟化碳，合作多家四氟化碳客户 产品纯度:9999~99999% 包装说明: 47L DOT钢瓶

四氟化碳是易燃易爆气体吗 由此可见，四氟化碳是一种具有较强化学稳定性的气体，常温常压下不易燃烧、不易爆炸。 虽然四氟化碳具有高稳定性，但在某些特定条件下并不是完全不易燃烧。 以下是四氟化碳的燃烧特性： 四氟化碳的燃烧温度为500℃。 当四

2013年4月2日  四氟化碳这种含氟有机化合物用于蚀刻二氧化硅和氮化硅这样的介质材料已经有很多年了。 在氧化膜的干法蚀刻中，含氟有机物是主要是蚀刻气体，如八氟环丁烷在高电场下，离化成等离子体和自由季（Radical）,包含CF*,CF2*,CF3*等，然后自由基与二氧化硅反应完成蚀刻，其反应式为：CF*+SiO2SiF4+CO/CO2

四氟化碳 ，又称为 四氟甲烷 、 Freon14 及 R 14 ，是一种 卤代烃 （化学式： C F 4 ）。 它既可以被视为一种 卤代烃 、 卤代甲烷 、 全氟化碳 ，也可以被视为一种 无机化合物 。 若非注明，所有数据均出自 标准状态（25 ℃，100 kPa） 下。 零下198 °C时，四氟化碳

2024年5月11日  四氟化碳（CF4）最早就是通过氟碳直接反应法制得的，该方法经过不断的发展与完善, 如今已成为工业上制备全氟烷的最主要的方法之一。 日本关东电化株式会社的专利介绍了一种在抑爆剂存在下，使碳与F2反应来制备高纯CF4的工艺。采用氟化

2016年12月17日  四氟化碳 是无毒的气体，吸入四氟化碳的后果与浓度有关，包括头痛、恶心、头昏眼花及心血管系统的破坏（主要是心脏）。 长时间接触会导致严重的心脏破坏。 谱源气体专业供应四氟化碳，合作多家四氟化碳客户 产品纯度:9999~99999% 包装说明:

2024年5月25日  四氟化碳，又稱為四氟甲烷、Freon14及R 14，是一種鹵代烴（化學式：CF4）。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳，也可以被視為一種無機化合物。零下198 °C時，四氟化碳具有單斜的結構，晶格常數為a = 8597,

2022年11月1日  本文以氟化碳材料的结构和性质为基础，分别从化学能源、摩擦润滑和半导体等领域的应用综述了近年来我国氟化碳材料的基础研究现状和发展趋势。 同时，还介绍了我国氟化碳材料的产业化进程，指出目前在民用领域受限的主要原因，提出了当前氟化碳在不

2011年1月6日  Oct．，2 01 应用技术 氦离子色谱仪在四氟化碳分析中的应用 方 华，庄鸿涛，杨 康，杨 任 (上海华爱色谱分析技术有限公司，上海 ) 摘要：采用氦离子检测器(PDHID)及以热导检测器(TCD)与火焰离子化检测器(FID)组合的两种不同气相 色谱分析方法

2021年11月16日  四氟甲烷CF 4 四氟甲烷（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane），亦称四氟化碳，全氟化碳，FC14（ R14 ）。 化学式CF 4 。 相对分子量8800。 在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。 沸点128℃，熔点1836℃。 液体密度（130℃）1613g

2023年1月19日  四氟化碳(CF4)是《京都协议书》规定与管控的典型非二氧化碳超强温室气体之一。 随着铝电解、半导体等工业活动规模的不断扩大,CF4排放量持续增加,加剧了全球气候变化,影响着人类赖以生存的环境质量,同时阻碍了相关产业的可持续发展。 随着碳达峰行动方案的落实,加大 CF4等非二氧化碳温室气体

2017年3月1日  关注 四氟化碳具有急性毒性，所以四氟化碳瓶不可以装氧气。 四氟化碳既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。 零下198 °C时。 四氟化碳造成温室效应的作用二氧化碳的数千倍。 氟代烃的低层大气中比较稳

2023年1月5日  四氟化碳 （Carbon tetrafluoride ）是一种 无机化合物，公式为 CF4。它们之间没有任何关系。甲烷是一种较为常见的天然气组分，是地下沼泽和湿地中 微生物分解 有机物产生的烃类物质之一。四氟化碳则是一种无色、无味的清澈无色气体，在工业中

除了四氟化碳外, 都能发生氧化反应 许多含卤素原子的有机物 氧化反应的条件苛刻的多 1 CCl4由于C原子被四个Cl原子牢牢地给频蔽了, 所以很稳定, 不过在高温下, 四氯化碳会部分被O2所氧化, 产生剧毒的光气, 这也正是它逐渐推出灭火舞台这个角色的原因

四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101325kpa时，水中溶解度为0。

2022年3月23日  国内四氟化碳产能不断扩张，飞源气体未来产能将扩大一倍。 2021 年中国四氟化碳总产能超过 3000 吨，其中成都科美特特种气体公司产能占比高达 38%，位居首位；黎明院四氟化碳产能为 200 吨，产能占比达 6%。

2019年6月6日  四氟化碳为非腐蚀性气体，所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜，铝等金属材料都可以使用，但是含镁大于2%的合金不能用。在高温，一些金属起加速CF 4 分解的催化作用。 按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下：因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。

2022年11月21日  四氟化碳（CF4）等含氟气体等离子去胶工艺中的作用 在常温常压下，CF 4 是一种稳定的气体，但是在高温、低压和等离子体中，CF 4 被解离生成了极具活性的氟离子。 为高能离子注入或高密度等离子干法刻蚀后，光刻胶会产生局硬化，传统的氧等离子体去胶法难以完全去除全部的光刻胶，极易产生

2024年4月10日  氟化碳 性质 氟化石墨烯是一种具有特殊性质的材料。 它的主要性质如下： 1 高度阻隔性：氟化石墨烯具有很强的阻隔能力，可以阻止气体、液体和溶液的渗透。 这使得它在制备防腐涂层、隔热材料和气体分离膜等方面有着广泛的应用。 2 热稳定性：氟

四氟化碳理化特性分析综上所述，四氟化碳是一种具有独特理化特性的物质。它具有较高的热化学稳定性，在常温下不与大多数物质反应。然而，在高能环境下，它可以被裂解生成活性离子。CF4在微电子工业中广泛应用，并被用作火灾抑制剂和制冷剂。

2023年8月8日  CF 4 被等离子体激发后会形成许多激发粒子，与Al 2 O 3 /碳发生反应。CF 4 衍生的氟可以与Al反应生成AlF 3，同时碳元素与Al中的氧键合 2 O 3 产生CO和/或CO 2。催化剂表面的强酸位点是促进CF 4 分解的主要因素。这项工作开发的分解方法为低温分解全氟化

三、四氟化碳的空间构型 四氟化碳的空间构型属于三角双锥形。 在三角双锥形的构型中，碳原子位于底面的中心位置，而四个氟原子呈推平角朝向四面体的顶点。 由于氟原子之间的互斥效应，使得四氟化碳的四个氟原子之间尽可能地分散。 四、四氟化碳的

四氟化碳为非腐蚀性气体，所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜，铝等金属材料都可以使用，但是含镁大于2%的合金不能用。在高温，一些金属起加速CF 4 分解的催化作用。 按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下：因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。

2023年3月9日  四氟化碳排放管控吗是的，四氟化碳（CF4）是一种强效的温室气体，其对全球变暖的贡献率比二氧化碳（CO2 ）高出几倍。因此，为了控制温室气体的排放，许多国家和地区都实行了四氟化碳的排放管控措施。世界上许多国家和 百度首页 商城 注册

四氟化碳的刻蚀机理主要包括物理刻蚀和化学刻蚀两种方式。 物理刻蚀是指通过离子轰击或中性粒子轰击的方式，在表面产生能量传递和碰撞，从而使原子或分子从固体表面剥离。 而化学刻蚀是指通过气体分子与固体表面发生化学反应，产生可挥发的化合物